IM (Index Module)

 

[장치의 용도]

Poly-carbonate Glass가 적층된 Cassette를 Loading/Unloading 하는 장치.

 

[장치의 구성]

Cassette를 Loading/Unloading 하기위한 장치.
Cassette를 Aligning 하기위한 Aligner 장치.
Cassette에 Glass의 존재 여부를 확인하기위한 Mapping 장치.
Glass 표면의 정정기를 제거하기위한 Ionizer 장치.

TM (Transfer Module)

 

[장치의 용도]
Transfer Module 에는 크게 Atmosphere Transfer Module과 Nitrogen Transfer Module로 나눠지며, 전자는 Glass의 Loading/Unloading에 보편적으로 사용되며, 후자는 공정진행 중 이송용으로 사용.

 

[장치의 구성]

상부에 Particle억제와 Nitrogen 순환을 위한 Fan Filter Unit.

내측에 Glass 이송용 Robot.

TM와 Module을 연결하기위한 Adapter.
Nitrogen Transfer Module은 Glass의 입출을 위한 Gate Valve. 

LLC (Load-Lock Chamber)

 

[장치의 용도]

LLC는 대기압환경과 진공 또는 가압상태의 모듈과 압력을 일치시켜 Glass의 입/출을 위한 장치. 

 

[장치의 구성]

진공을 형성하기위한 Pumping 장치.

진공을 파기하기위한 Venting 장치.

Glass를 안착하기위한 Stage 장치.

Glass의 입출을 위한 Gate Valve 장치.
Glass의 틀어짐을 교정하기위한 Aligning 장치.

LLC (Load-Lock Chamber)

 

[장치의 용도]

LLC는 대기압환경과 진공 또는 가압상태의 모듈과 압력을 일치시켜 Glass의 입/출을 위한 장치. 

 

[장치의 구성]

진공을 형성하기위한 Pumping 장치.

진공을 파기하기위한 Venting 장치.

Glass를 안착하기위한 Stage 장치.

Glass의 입출을 위한 Gate Valve 장치.
Glass의 틀어짐을 교정하기위한 Aligning 장치.

BM (Buffer Module)

 

[장치의 용도]

Buffer Module은 공정이 겹치거나, 필요시 Glass를 잠시 Stocking하는 장치.

 

[장치의 구성]

상부에 Particle억제와 Nitrogen 순환을 위한 Fan Filter Unit,
Glass의 입출을 위한 Gate Valve 장치.

Glass를 Stocking 하기위한 Storage 장치.

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